Dayung Kantilever Silicon Carbide
Detail produk dan aplikasi
Kekuatan pemuatan wafer silikon karbida besar SiSiC / SiC cantilever paddle / beam cocok untuk sistem pemuatan dan penanganan otomatis robot karena memiliki kinerja yang stabil, non-deformasi pada suhu tinggi dan gaya pemuatan wafer yang besar. Karena bagian dayung kantilever stabil tanpa deformasi, dimungkinkan untuk membuat wafer ukuran lebih besar menggunakan tabung tungku yang ada. Kekuatan beban wafer besar silikon karbida SiSiC / SiC kantilever dayung / balok dapat diterapkan ke LPVCD berdasarkan koefisien ekspansi termal yang serupa dengan lapisan LPVCD, yang sangat memperpanjang siklus pemeliharaan dan pembersihan, dan secara signifikan mengurangi polutan.
Parameter teknis dari reaksi terikat silikon karbida RBSIC:
| barang | satuan | data |
| Suhu aplikasi | ℃ | 1380 |
| massa jenis | G / cm3 | > = 3,02 |
| Buka porositas | % | <0,1 |
| Skala Kekerasan Moh | 13 | |
| Kekuatan lentur | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| Modulus elastisitas | IPK | 330 (20 ℃) |
| IPK | 300 (1200 ℃) | |
| Konduktivitas termal | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Koefisien muai panas | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Basa tahan asam | Luar biasa |
Fitur:
Sebuah. Itu tidak berubah bentuk pada suhu tinggi dan gaya pemuatan wafer besar;
b. Ketahanan kejut termal yang sangat baik dan masa pakai yang lama;
c. Koefisien ekspansi termal dari dayung kantilever sangat kecil, yang sangat memperpanjang siklus perawatan dan pembersihan;
dan secara drastis mengurangi polutan
Furnitur tungku pembakaran lainnya dibuat dari keramik silikon karbida
Selain Reaksi sinter silikon karbida SiSiC kantilever dayung untuk pemuatan wafer, kami juga memproduksi furnitur kiln lainnya termasuk balok silikon karbida RBSIC / SISIC, tabung nosel, tabung nosel spiral, tabung nosel swirl, reng / pelat penyetel silikon karbida terikat oksida dan pipa pendingin RBSIC .
Produk silikon karbida RBSIC / SISIC tahan aus
Karena produk silikon karbida RBSIC / SISIC kami memiliki keunggulan ketahanan aus yang sangat baik, ketahanan terhadap korosi dan masa pakai yang lama, produk ini juga dapat dibuat menjadi lapisan tahan aus yang dapat dengan mudah dipasang di pipa pemrosesan atau siklon.
